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C Series

时间:2019-12-05   浏览次数:1625次

设备名称:
eFlow Series
厂家:
DIC GROUP
型号:
C Series
年份:
now
设备状态:
new








eFLOW Series是通过使用DIC自主开发的「中空纤维透气膜」补充二氧化碳的方法控制超纯水电阻率值的装置。可得到防止因静电引起的「灰尘再次附着」和基板图形的防「静电破坏」的效果。

特征

n由于结构简单,故障少

n采用独特的配管分配方式,易于控制电阻率值且稳定性优良

n二氧化碳供气模组的寿命长(保证期限为5年,本公司制)

主要用途

n掩模、网袋的清洗 n洗涤器清洗 n高压喷射清洗 n切割工序的清洗 n槽清洗

产品阵容

Cabinet Type(C Series)

C Series附带可装入2个CO2气瓶的机柜。电阻率传感器内置于机柜内,可通过eFLOW直接把水管连接使用场所。


型号一览表

处理流量(L/min) 型号 模组
1-16 1AC-P101 PF-001L-NA 1个 1module
5-30 2AC-P101 PF-001L-ND2 2个 2modules
10-50 3AC-P101 PF-001L-ND3 2个 2modules













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